
Generator Oxygen PSA για ημιαγωγό
Περιγραφή
Τεχνικές παράμετροι
Γιατί η βιομηχανία ημιαγωγών χρειάζεται γεννήτριες οξυγόνου PSA;
Προμήθεια αερίου υψηλής καθαρότητας:Η κατασκευή ημιαγωγών έχει αυστηρές απαιτήσεις για την καθαρότητα του αερίου και το οξυγόνο υψηλής καθαρότητας είναι απαραίτητη για τη λιθογραφία, τον καθαρισμό και άλλους συνδέσμους. Με τη βοήθεια της τεχνολογίας προσρόφησης της πίεσης, η γεννήτρια οξυγόνου PSA παράγει οξυγόνο με καθαρότητα 95%± 3%, η οποία πληροί τις απαιτήσεις του σχηματισμού στρώματος οξειδίου και του καθαρισμού των δισκίων και αποφεύγει τον κίνδυνο μόλυνσης από την προσφορά οξυγόνου του κυλίνδρου αερίου.
Εξασφαλίστε τη σταθερότητα της διαδικασίας:Οι γραμμές παραγωγής ημιαγωγών απαιτούν συνεχή και σταθερή παροχή αερίου. Η γεννήτρια οξυγόνου PSA χρησιμοποιεί διπλούς πύργους προσρόφησης για να λειτουργήσει εναλλάξ και μέσω του ευφυούς ελέγχου PLC, μπορεί να επιτύχει την παροχή οξυγόνου 24- την ώρα, να αποφύγει τις διακοπές παραγωγής που προκαλούνται από την αντικατάσταση χειροκίνητης φιάλης και να προσαρμόζονται σε διεργασίες ευαίσθητες στην πίεση του αέρα, όπως η εναπόθεση λεπτού φιλμ και η χάραξη.
Μειώστε το κόστος και βελτιστοποιήστε το χώρο:Σε σύγκριση με τις δεξαμενές αποθήκευσης υγρού οξυγόνου και τους κυλίνδρους αερίου υψηλής πίεσης, οι γεννήτριες οξυγόνου PSA παράγουν οξυγόνο επί τόπου, μειώνοντας σημαντικά το κόστος μεταφοράς και αποθήκευσης. Έχει ένα μικρό αποτύπωμα και υποστηρίζει τη αρθρωτή επέκταση, η οποία ανταποκρίνεται στις ανάγκες μεγιστοποίησης της αξιοποίησης του χώρου σε καθαρά εργαστήρια των εργοστασίων ημιαγωγών. Το μακροπρόθεσμο κόστος χρήσης είναι περίπου 20% χαμηλότερο από την παραδοσιακή μέθοδο.
Προσαρμόστε σε ειδικές διαδικασίες:Σε προηγμένες διαδικασίες, ορισμένες ειδικές διαδικασίες απαιτούν ακριβή έλεγχο της συγκέντρωσης οξυγόνου. Η γεννήτρια οξυγόνου PSA μπορεί να ρυθμίσει ευέλικτα την καθαρότητα εξόδου οξυγόνου (95%-99.
Φιλικό προς το περιβάλλον και εύκολο στη διατήρηση:Η τεχνολογία PSA δεν απαιτεί χημικά αντιδραστήρια και η διαδικασία παραγωγής οξυγόνου δεν εκπέμπει επιβλαβείς ουσίες, οι οποίες πληρούν τα πρότυπα προστασίας του περιβάλλοντος της βιομηχανίας ημιαγωγών. Ο εξοπλισμός χρησιμοποιεί ανοξείδωτο χάλυβα τροφίμων και αυτοκόλλητα μοριακά κόσκινα, με κύκλο συντήρησης μέχρι 3-5 χρόνια και είναι κατάλληλος για περιβάλλοντα παραγωγής πλακιδίων υψηλής καθαρισμού.

| κατηγορία | Λεπτομέρειες παραμέτρων |
| Καθαρότητα οξυγόνου | 93% -99. |
| Πίεση εξόδου | 0. 5-1. |
| Φάσμα ροής | 10-5000 nm³/h (υποστηρίζει παράλληλη επέκταση πολλαπλών μονάδων) |
| Δροσιάς | Λιγότερο από ή ίσο με -70 βαθμό (για να αποφευχθεί ο υδρατμός από τη ρύπανση του περιβάλλοντος επεξεργασίας) |
| Ενεργειακή απόδοση | Λιγότερο από ή ίσο με 0. |
| Επίπεδο θορύβου | Λιγότερο από ή ίσο με 65dB (χαμηλή δομή κραδασμών + ηχομόριο κέλυφος, σύμφωνα με τα πρότυπα καθαρού δωματίου κλάσης 1000) |
Τα βασικά πλεονεκτήματα της γεννήτριας οξυγόνου PSA

Εγγύηση εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας
Η μονάδα διπλής στρώσης μοριακού κόσκινου και η καταλυτική μονάδα οξείδωσης χρησιμοποιούνται για την βαθιά απομάκρυνση των ακαθαρσιών όπως οι υδρογονάνθρακες και η CO₂ και η καθαρότητα του οξυγόνου φτάνει πάνω από 99,5%, ικανοποιώντας το πρότυπο ημι-F20. Ενσωματωμένος αναλυτής σε πραγματικό χρόνο, συγχρονισμός δεδομένων στο εργοστάσιο SCADA για τη διασφάλιση της σταθερότητας της διαδικασίας.
Έξυπνος έλεγχος και περιττός σχεδιασμός
Το ολοκληρωμένο σύστημα ελέγχου PLC+HMI, υποστηρίζει την απομακρυσμένη παρακολούθηση, την αυτοδιάγνωση σφαλμάτων και την εναλλαγή έκτακτης ανάγκης (περιττή προσρόφηση διπλού πύργου). Τεχνολογία αυτόματης αντιστάθμισης πίεσης για την αντιμετώπιση της στιγμιαίας ζήτηση υψηλής ροής του εξοπλισμού ημιαγωγών.
Λύση εξοικονόμησης ενέργειας χαμηλής άνθρακα
Η συνεργιστική τεχνολογία VPSA (προσρόφηση πίεσης κενού) μειώνει την κατανάλωση ενέργειας, εξοικονομώντας 15% -20% ενέργεια σε σύγκριση με την παραδοσιακή μονάδα ανάκτησης θερμότητας PSA.
Συμβατότητα καθαρού δωματίου
Όλα τα κανάλι ροής από ανοξείδωτο χάλυβα + επίστρωση Nano για να αποφευχθεί η μόλυνση των μεταλλικών ιόντων. Σχεδιασμός στεγανοποίησης μηδενικής διαρροής, Πέρασε το ISO 8573-1 κατηγορία 0 πιστοποίηση.
Τύποι φυτών οξυγόνου PSA

Αρθρωτός εξοπλισμός

Εξοπλισμός διπλού πύργου

Εξοπλισμός με εμπορευματοκιβώτιο
| NTK95 Series PSA Oxygen Generator Επιλογή | ||||||
| Οχι. | Μοντέλα | Ικανότητα (NM3/ώρα) |
Καθαρότητα | Κατανάλωση ενέργειας Παράγεται το οξυγόνο 1NM3 (KW/Η) |
Αριθμός μπουκαλιών Φυλοποίησε σε 12 ώρες (PCS) |
Απαιτείται ο χειριστής |
| 1 | Ntk 95-5 p | 5 | 95%+-1% | 3.54 | 10 | 2 |
| 2 | Ntk 95-10 p | 10 | 95%+-1% | 2.52 | 20 | 2 |
| 3 | Ntk 95-15 p | 15 | 95%+-1% | 2.31 | 30 | 2 |
| 4 | Ntk 95-20 p | 20 | 95%+-1% | 2.13 | 40 | 2 |
| 5 | Ntk 95-25 p | 25 | 95%+-1% | 2.01 | 50 | 2 |
| 6 | Ntk 95-30 p | 30 | 95%+-1% | 2.09 | 60 | 2 |
| 7 | Ntk 95-40 p | 40 | 95%+-1% | 1.81 | 80 | 2 |
| 8 | Ntk 95-50 p | 50 | 95%+-1% | 1.94 | 100 | 2 |
| 9 | Ntk 95-60 p | 60 | 95%+-1% | 1.62 | 120 | 2 |
| 10 | Ntk 95-80 p | 80 | 95%+-1% | 1.92 | 160 | 2 |
| 11 | Ntk 95-100 p | 100 | 95%+-1% | 1.83 | 200 | 2 |
Συχνές ερωτήσεις
1. Πόσο υψηλή μπορεί να είναι η καθαρότητα οξυγόνου και πληροί τις απαιτήσεις της παραγωγής ημιαγωγών;
Η γεννήτρια οξυγόνου PSA για ημιαγωγούς μπορεί να παράγει συστηματικά οξυγόνο με καθαρότητα 95%± 3%. Για ορισμένες διεργασίες που απαιτούν εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα οξυγόνου, προσαρμόζοντας τις παραμέτρους του εξοπλισμού, η καθαρότητα εξόδου οξυγόνου μπορεί να ελεγχθεί ευέλικτα εντός της περιοχής 95% - 99 9%, ικανοποιώντας πλήρως τις αυστηρές απαιτήσεις για την καθαρότητα του αερίου σε συνδέσεις πυρήνα όπως η λιθογραφία ημιαγωγού, ο καθαρισμός και η οξείδωση.
2. Πόσο σταθερό είναι ο εξοπλισμός και μπορεί να εξασφαλίσει τη συνεχή λειτουργία της γραμμής παραγωγής ημιαγωγών;
Ο εξοπλισμός υιοθετεί έναν εναλλασσόμενο τρόπο εργασίας του πύργου διπλής προσρόφησης, σε συνδυασμό με ένα σύστημα ελέγχου ευφυούς ελέγχου PLC, για να επιτευχθεί 24- ώρα αδιάλειπτη και σταθερή παροχή οξυγόνου. Αυτή η αυτοματοποιημένη λειτουργία λειτουργίας αποφεύγει τις διακοπές παροχής αερίου που προκαλούνται από την αντικατάσταση χειροκίνητης φιάλης, παρέχει αξιόπιστη και σταθερή παροχή αερίου για διαδικασίες όπως η εναπόθεση λεπτού φιλμ και η χάραξη που είναι ευαίσθητες στην πίεση του αέρα και μειώνουν αποτελεσματικά τον κίνδυνο διακοπής παραγωγής που προκαλούνται από προβλήματα παροχής αερίου.
3. Σε σύγκριση με τις παραδοσιακές μεθόδους παροχής οξυγόνου, ποιο είναι το κόστος χρήσης;
Σε σύγκριση με τις δεξαμενές αποθήκευσης οξυγόνου υγρού ή τους κυλίνδρους αερίου υψηλής πίεσης, η γεννήτρια οξυγόνου PSA υιοθετεί επιτόπια παραγωγή οξυγόνου, ο οποίος εξοικονομεί σε μεγάλο βαθμό το κόστος μεταφοράς και αποθήκευσης οξυγόνου. Ο εξοπλισμός καταλαμβάνει μια μικρή περιοχή και μπορεί να επεκταθεί αρθρωτά, μειώνοντας το κόστος ενοικίασης θέσεων. Μακροπρόθεσμα, το κόστος είναι περίπου 20% χαμηλότερο από την παραδοσιακή μέθοδο παροχής οξυγόνου, η οποία εξοικονομεί σημαντικά το λειτουργικό κόστος.
4 Είναι πολύπλοκη η συντήρηση του εξοπλισμού; Πόσο καιρό είναι ο κύκλος συντήρησης;
Ο εξοπλισμός είναι εύκολος στη συντήρηση, χρησιμοποιώντας ανοξείδωτο χάλυβα τροφίμων και αυτοκαθαριστικά μοριακά κόσκινα, γεγονός που μειώνει σημαντικά τον φόρτο εργασίας συντήρησης. Υπό κανονικές συνθήκες, ο κύκλος συντήρησης είναι όσο 3-5 χρόνια και είμαστε εξοπλισμένοι με μια επαγγελματική ομάδα μετά την πώληση για να παρέχουν τεχνική υποστήριξη ανά πάσα στιγμή για να σας βοηθήσουν να λύσετε προβλήματα κατά τη λειτουργία του εξοπλισμού.
Ενεργήστε τώρα για να εξασφαλίσετε την αλυσίδα εφοδιασμού οξυγόνου
✅ Προσαρμοσμένες λύσεις:
Πείτε μας την χωρητικότητα του κρεβατιού σας και την αιχμή της ζήτησης για μια προσαρμοσμένη πρόταση.
✅ Γρήγορη παράδοση:
Οι προ-μηχανικές ενότητες αποστέλλονται σε 8-12 εβδομάδες.
✅ Επιλογές χρηματοδότησης:
Διαθέσιμα σχέδια μίσθωσης.
Αριθμός τηλεφώνου
+86 15888864725
Αριθμός WhatsApp
+86 15888864725
Ηλεκτρονικό ταχυδρομείο
sales@newtek-group.com

Δημοφιλείς Ετικέτες: PSA Oxygen Generator for Semiconductor, China PSA Oxygen Generator για ημιαγωγό, προμηθευτές, εργοστάσιο
Ένα ζευγάρι
Γεννήτριες οξυγόνου για κινητά νοσοκομείαΕπόμενη
Ιατρική γεννήτρια οξυγόνουΑποστολή ερώτησής
Ερχομαι σε επαφή
Γράψτε το Μήνυμά σας














